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賽可世界樶高分辨率X-eye NF120概述

納米-focus X射線檢測設(shè)備

適應(yīng)于亞微米單位不良檢測要求的半導體封裝，晶片領(lǐng)域檢測(WLP)，配備400納米級的納米-focus 射線管的設(shè)備。

用精密的定位軸可將不良位置準確的檢查出來。

配備3D CT模塊時可進行單層分析，通過晶片方向盤的安裝，對晶片樣品進行自動解讀。

Wafer Bump Void

Wafer TSV Void

賽可世界樶高分辨率X-eye NF120特點

★ 為 Wafer Lebel Packaging檢測的非破壞分析設(shè)備
★ 提供Dual Type的CT，獲得最清影像
★ TSV, Micro Bump, Pattern